Prototípo de Microbacterías Recargables de Iones de Litio totalmente sólidas basadas en Películas Delgadas producidas por técnicas de Alto Vacío
DOI:
https://doi.org/10.21754/tecnia.v15i1.452Palabras clave:
Prototipo , Microbacterías , Multicapas, LiPON, Iones de litio, Rf sputteringResumen
En este artículo se reporta la producción de un prototipo de microbaterías recargables de iones de litio totalmente sólidas basadas en películas delgadas producidas por las técnicas de y rf magnetrón sputtering. El ánodo está constituido por películas de Li Al, el electrolito por una película amorfa sólida de oxinitruro de fósforo y litio (LiPON) y el cátodo por películas delgadas de óxido de cobalto y litio (Li CoO). Además del proceso de producción de los diferentes componentes y del ensamblaje de las mismas reportamos también la caracterización de las películas de LiPON por espectrofotometria UV/Visible y por espectrometría infrarroja, así como, la caracterización de las peliculas de Li CoO, por espectrometría infrarroja.
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