Espectroscopía por Electrones Auger de Películas Delgadas de Ti-Cr-N Obtenidas Mediante DC Magnetron Sputtering
DOI:
https://doi.org/10.21754/revciuni.v19i1.2641Palabras clave:
AES, Películas Delgadas, Pulverización Catódica.Resumen
La Espectroscopía de Electrones Auger se ha utilizado para análisis de la cuantificación química de las superficies de los recubrimientos de Ti-Cr-N, los cuales han sido obtenidos mediante la técnica de pulverización catódica reactiva DC. Estos recubrimientos también fueron analizados mediante la difracción de rayos X para obtener información de la estructura y de las fases obtenidas en los recubrimientos. Así como también se realizó la medida de la dureza mediante la microindentación Vickers.
Descargas
Citas
Davis, L. E., MacDonald, N. C., Palmberg, P. W., Riach, G. E. y Weber, R. E., Handbook of Auger Electron Spectroscopy, Second Edition, Physical Electronics Division Perkin, Elmer Corporation, Minnesota (1976).
Leyendecker, T., Lemmer Ebberink O. y Esser, S., Surf. Coat. Technol. 48, 175 (1991).
Kim B. J., Lee, S. H., J. Mater. Sci. Lett. 16, 1597 (1997).
Knotek, O., Munz, W. D. y Keyendecker, T., J. Vac. Sci. Technol. A5, 2173 (1987).
Boeleus, S. y Veltrup, V., Surf. Coat. Technol. 33, 63 (1987).
König, V., Surf. Coat. Technol. 33 (1987) 91.
Hones, P., Sanjines, R. y Levy, F., Thin Solid Films 332, 240 (1998).
Nainaparampil, J. J., Zabinski, J. S. y Korenyi-Both, A., Thin Solid Films 333, 88 (1998).
Vetter, J., Scholl, H. J. y Knotek, O., Surf. Coat. Technol. 82, 42 (1996).
Pakala, M. y Lin, R. Y., Surf. Coat. Technol. 81, 233 (1996).
Sara, R., Inturi, R. B. y Barnard, J. A., Surf. Coat. Technol. 82, 42 (1996).
Melnik, V., Popov, V., Kruger, D. y Oberemok, O., Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 2, 3, 81–85 (1999).
Lee, K. H., Park, C. H., Yan, Y. S. y Lee, J. J., Thin Solid Films 385, 167 (2001).
Descargas
Publicado
Cómo citar
Licencia
Derechos de autor 2016 Revista de la Facultad de Ciencias UNI
Esta obra está bajo una licencia internacional Creative Commons Atribución 4.0.
Los artículos publicados por REVCIUNI pueden ser compartidos a través de la licencia pública internacional Creative Commons: CC BY 4.0. Permisos lejos de este alcance pueden ser consultados a través del correo revistas@uni.edu.pe
